Метална въртяща се мишена
Описание на продукта
Метална ротационна мишена
Между целта за разпрашаване (катод) и анода се прилагат ортогонални магнитни и електрически полета.И напълнете необходимия инертен газ (обикновено Ar газ) във високовакуумната камера.Под действието на електрическо поле газът Ar се йонизира в положителни йони и електрони.Определено отрицателно високо напрежение се прилага към мишената, електроните, излъчени от мишената, се влияят от магнитното поле, вероятността за йонизация на работния газ се увеличава, плазма с висока плътност се образува близо до катода и Ar йоните са засегнати от силата на Лоренц.След това ускорете, за да летите до целевата повърхност и бомбардирайте целевата повърхност с висока скорост, така че разпръснатите атоми върху целта да следват принципа на преобразуване на импулса, да летят от целевата повърхност към субстрата и да отлагат филм с висока кинетична енергия.
За да се подобри допълнително степента на използване на целевия материал, е проектиран въртящ се катод с по-висока ефективност на използване и се използва тръбен целеви материал за разпръскващо покритие.Подобряването на оборудването за разпръскване изисква мишената да бъде променена от плоска форма в тръбна форма, а степента на използване на тръбната въртяща се мишена може да достигне до 70%, което до голяма степен решава проблема с ниското използване на плоската мишена.
| Име на продуктите | Метална въртяща се мишена |
| Материал | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
| Гореща разпродажба размер | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855 мм ID-160/OD-180x1800mm Може да се обработва и според специфичните изисквания на клиентите |
| MOQ | 3 бр |
| Пакет | Калъф от пластово дърво |
Забележка: Ние произвеждаме главно различни метални цели, моля, консултирайте се с нас за подробности.
Приложение
Покритието чрез разпрашаване е нов тип метод за физическо парно покритие.В сравнение с метода на нанасяне на покритие чрез изпаряване, той има очевидни предимства
в много аспекти.Металните мишени за разпръскване са били използвани в много области.Основното приложение на въртящата се цел.
■Слънчеви клетки
■Архитектурно стъкло
■Автостъкла
■полупроводник
■Телевизор с плосък екран и др
информация за поръчка
Запитванията и поръчките трябва да включват следната информация:
☑Спецификация на целта ID×OD×L (mm).
☑Необходимо количество.
☑Моля, свържете се с нас за повече специални нужди.
