Как работи магнетронното разпръскване?
Магнетронното разпрашване е метод за физическо отлагане на пари (PVD), клас процеси на вакуумно отлагане за производство на тънки филми и покрития.
Името "магнетронно разпрашване" възниква от използването на магнитни полета за контролиране на поведението на заредените йонни частици в процеса на магнетронно разпрашване.Процесът изисква камера с висок вакуум за създаване на среда с ниско налягане за разпръскване.Газът, който съдържа плазмата, обикновено газ аргон, навлиза първо в камерата.
Между катода и анода се прилага високо отрицателно напрежение, за да се инициира йонизацията на инертния газ.Положителните аргонови йони от плазмата се сблъскват с отрицателно заредения целеви материал.Всеки сблъсък на високоенергийни частици може да накара атомите от целевата повърхност да излязат във вакуумната среда и да се задвижат върху повърхността на субстрата.
Силното магнитно поле създава висока плътност на плазмата чрез ограничаване на електроните близо до целевата повърхност, увеличаване на скоростта на отлагане и предотвратяване на увреждане на субстрата от йонно бомбардиране.Повечето материали могат да действат като мишена за процеса на разпръскване, тъй като системата за магнетронно разпръскване не изисква топене или изпаряване на изходния материал.
Параметри на продукта
Име на продуктите | Мишена от чист титан |
Степен | Gr1 |
Чистота | Повече 99,7% |
Плътност | 4,5g/cm3 |
MOQ | 5 броя |
Гореща разпродажба размер | Φ95*40 мм Φ98*45 мм Φ100*40 мм Φ128*45 мм |
Приложение | Покритие за PVD машина |
Размер на запасите | Φ98*45 мм Φ100*40 мм |
Други налични цели | Молибден (Mo) Хром (Cr) TiAl Мед (Cu) Цирконий (Zr) |
Приложение
■Покритие на интегрални схеми.
■Повърхностни панелни дисплеи от плоски панели и други компоненти.
■Декорация и покритие на стъкло и др.
Какви продукти можем да произвеждаме
■Плоска мишена от титан с висока чистота (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Стандартна резбова връзка за лесен монтаж (M90, M80)
■Независимо производство, достъпна цена (контролируемо качество)
информация за поръчка
Запитванията и поръчките трябва да включват следната информация:
■ Диаметър, височина (като Φ100 * 40 mm).
■ Размер на резбата (като M90*2 mm).
■ Количество.
■ Изискване за чистота.